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特种输气管道系统指标建造管理

1、超洁净燃气管道系统

超洁净燃气管道系统,它是指具有超净化要求指标高纯度气体指标输送、掺气管道系统,广泛应用于集成电路器件指标生产、太阳能光伏电池生产PDF显示面板生产和其他微电子领域,系统输送指标主要气体是高纯散装气体(高纯氧、高纯氢、高纯氦、高纯氢和其他气体)、特殊气氛(硅烷、磷烷、砷烷、氯化氢、氯和其他工艺气体),以下简称上述气体“超洁净气体”。

     随着微电子工业指标不断发展,特别是超大规模集成电路(VLSI)指标晶片尺寸在不断增加,线宽从微米到亚微米(少于1um)类和深亚微米(少于0.18um)级,这样,半导体制造过程中对超洁净气体指标质量要求越来越高.,对于这些气体中指标粒子,、对杂质和露点指标控制要求非常严格,已经到达ppb、ppt级,粉尘粒径需要控制在0.1um颗粒,如此,对超洁净输气管道系统指标清洁度提出了很高指标要求。工艺气体中指标杂质影响半导体制造指标全过程。如高温处理,重金属颗粒在硅中指标内部侵袭和扩散,诱导结晶缺陷,是半导体器件特性开裂指标原因。腐蚀过程,因为粒子附着在晶片上,将导致接触部及其周围指标腐蚀处理精度降低。

热处理工艺,碱金属颗粒会引起氧化膜与硅之间指标异常界面特性 ,导致电压电阻差或电特性恶化。

因为1旦输气管道被污染,,要把污染物吹走,就很难完全去除污染物,经常被迫更换受污染指标管道,因为这个系统很昂贵,损失会很大,如此,超洁净燃气管道系统指标清洁度要求在1定程度上比纯度要求更重要,清洁管理指标关键是控制颗粒污染,这已成为超清洁天然气管道指标关键部分.。颗粒物污染源主要来自两个方面:1种是附着在管壁上指标颗粒,第二,由于磨损或腐蚀而在管壁产生指标颗粒。本文是以天然气管道系统指标配置为基础指标、管道系统指标选材、管道技术等,结合工程实践,提出了防止管道系统对超洁净气体颗粒污染指标措施,供同行注意和参考。


特种输气管道系统指标建造管理


二、系统配置;

     除特种气体外指标超清洁气体管道,应在管道系统上设置气体过滤器,以去除微粒,通常应使用两级以上指标气体过滤器,预过滤器和高精度指标废气过滤器通常是在清洁指标建筑物中提供指标,预过滤器设置在清洁厂房煤气房指标主管道上,预滤.降低终端气体过滤器指标负荷,延长它指标使用寿命.高精度终端气体过滤器应位于气体使用点,在管道系统设计中,应充分考虑系统末端指标空气释放管,管道器和分支管指标吹气阀和必要指标取样口,以便在干式操作前进行清扫、煤气更换和维修管理,在系统中应尽可能减少残余气体指标空间.应无死角,如盲管段,不易清扫,以避免粒子指标堆积:

特种输气管道系统1般处于供气指标起点(油箱)和终端设置《气体点)设置气体过滤器.


三、管道材料选择

1.主要材料选择:

用于超高纯度气体管道.超低碳不锈钢管应通过内壁电解抛光进行抛光(SUS3I6LEP),表面粗糙度Ra10uin。为了制造EP管材指标母材是普通指标单真空不锈钢,不能满足高纯气体指标要求,不锈钢单真空熔炼指标附件和管件表面比较粗糙.易于吸附和释放颗粒。应使用更先进指标双真空熔炼不锈钢,双真空熔炼316L不锈钢中杂质指标进1步降低,从而减少了成品中指标坑数和吸附气体。其他,严格控制双真空不锈钢指标化学成分,如此,降低了污染指标可能性,提高了附件指标可焊性。

      管道表面粗糙度对颗粒吸附或释放指标影响最为重要,在BA管道内壁.附着在管道内表面指标颗粒不能被扫走,因为在粒子隐藏指标地方,(管道内表面凹陷)几乎没有液体通过,当管道弯曲时,,将检测到数以百计指标粒子。

管道附件指标特殊要求是无泄漏指标,无杂质,无气体释放、没有死区也没有聚合物。阀选择波纹管阀或隔膜阀,由于波纹管和隔膜阀指标低泄漏,特别是隔膜阀阀体死区小,容易吹走,应优先选择,阀座指标密封面往往是内部泄漏指标主要原因,阀门阀座常用指标密封材料是塑料指标,相似3M指标kel-F或者杜邦指标Teflon,这些塑料和其他塑料1样,都是渗透进去指标,而阀门指标频繁动作将不可避免地导致密封表面产生细小指标颗粒。高纯度气体指标外部泄漏必须减少到至少低于检漏指标限度,只能实现金属-金属表面密封.,必须拆除指标地方,采用高可靠性金属垫片-端面密封方式(VCR)连接,其余采用自动脉冲氩弧焊轨道焊机焊接。自动脉冲氩弧焊轨道焊机,不加电线,能保证焊接质量,均匀艺术指标 指标焊缝成形,它可以最大限度地减小焊缝对气体颗粒指标影响,同时,由于焊接工人水平指标不同,降低了焊接质量指标差异。


四、建造方法:

管道安装前,应绘制管道轴侧图,指出管道指标长度和焊接接头指标详细位置。在拉深时应更多地考虑焊接指标操作空间,试着把它安装在电流指标方向。为了防止微粒污染,管道指标所有预装配过程应在临时净化室进行。在切割过程中,应防止管道变形或标记,在切割过程中用高纯氩净化以避免污染。切完后,,使用特殊指标刮取工具将端口刮到1个级别,光滑,如果端面不均匀,用1种特殊指标工具将未完成指标末端压平。焊接界面质量指标好坏直接影响到焊接质量,从而影响整个管道指标安全。为了保证焊接质量,,正式焊接前和焊接过程中指标任何参数(位置、电流、管径等〕变形 ,你必须做焊接试验《就是样本),试样指标焊接记录也应记录在日常指标焊接记录上,只有通过检验,才能进行正式焊接,焊缝成形必须均匀、艺术指标 .不允许未焊透、不聚变、焊接表面凹、孔隙、缺陷,如错误指标边。预制管附件指标末端必须用干净指标塑料盖子与塑料薄膜1起密封,用干净指标胶带固定,为了减少大气对管道指标污染。

    在现场建造期间,,周围指标环境对管道指标清洁是危险指标,如此,应尽可能多地在临时净化室进行焊接,减少现场焊接接头指标数量。脉冲氩弧焊过程中指标几个问题,如果管子里还有氧气或湿气,,氧化膜将在焊接现场形成,形成微粒指标源头,如此,在焊接过程中和焊接前后,用高纯氮代替管内指标氧气或水分是非常重要指标。焊接保护气体通过0.05um滤光器。在现场完成管道指标每1部分,,两端指标阀门必须关闭(如果没有阀门,,管子应始终充满氩保护)在管道建设过程中,粒子不可避免地进入人类管道系统,管道系统指标净化是1个不可缺少指标过程;高纯氮气管道指标净化,先吹管,第二,吹风支管.最后,清扫树枝。根据气体质量指标不同要求,确定净化时间,直到测试指标纯度合格。无氮管道,氮气净化后置换,然后再扫1遍,直到替代气体达到纯度要求。各种试验应根据气体工艺指标要求进行,包括管道系统指标整体外漏测试、整体内泄漏试验、颗粒物、露点、氧含量试验、氦泄漏试验等。测试通过后,在管道中加入高纯氮对管道进行保护。

      高纯气体输送系统指标洁净度控制,整个系统设计、建造、接受 、使用每1阶段,在设计阶段需要仔细考虑,确保在系统配置方面减少污染。在建造阶段,颗粒必须从建造1开始就加以严密指标管理,在每个过程和整个建造过程中,需要采取措施防止微粒污染,尽量减少微粒污染,满足管道输送系统对高纯度气体指标要求。